发明名称 Dry apparatus for large area substrate and method thereof
摘要
申请公布号 KR100819714(B1) 申请公布日期 2008.04.07
申请号 KR20060049410 申请日期 2006.06.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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