| 摘要 |
Неравновесную плазму атмосферного давления, включающую распыленный агент обработки поверхности, генерируют посредством приложения высокого напряжения высокой частоты по меньшей мере к одному электроду, расположенному в диэлектрическом корпусе, при одновременном пропускании потока технологического газа из выхода мимо электрода к выходу. Приложенное напряжение является достаточно высоким для генерирования неравновесной плазмы атмосферного давления, проходящей от электрода, по меньшей мере, до выхода корпуса. Электрод можно комбинировать с распылителем для агента обработки поверхности внутри корпуса. Электрод может содержать радиоактивный материал. Подлежащая обработке поверхность может быть расположена вблизи выхода плазмы, так что поверхность находится в контакте с плазмой, и ее можно перемещать относительно выхода плазмы. |
