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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR PROCESSING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20070051007(A)
申请公布日期
2007.05.17
申请号
KR20050108342
申请日期
2005.11.14
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, HONG RAE;KIM, MIN
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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