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发明名称
摘要
申请公布号 JP2007512686(A) 申请公布日期 2007.05.17
申请号 JP20060539441 申请日期 2004.09.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L29/76 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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