发明名称 MEMS sensor systems and methods
摘要
申请公布号 AU2006233224(A1) 申请公布日期 2007.05.17
申请号 AU20060233224 申请日期 2006.10.27
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL, INC. 发明人 NEAL R. FEDORA
分类号 B81B5/00;G01P15/18 主分类号 B81B5/00
代理机构 代理人
主权项
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