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发明名称 MASS FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 KR20070051011(A) 申请公布日期 2007.05.17
申请号 KR20050108347 申请日期 2005.11.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, GON SU;EARM, HYUN SUB;KIM, YOUNG DAE;LEE, SEUNG SE;AN, SUNG YEUL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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