发明名称 METHOD FOR FABRICATING INTERLAYER OF DIELECTRIC IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070051215(A) 申请公布日期 2007.05.17
申请号 KR20050108778 申请日期 2005.11.14
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHO, GYU DONG;LEE, AN BAE
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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