发明名称 METHOD FOR MAKING DEEP DETAIL TRANSISTOR IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100713326(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20020086404 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址