| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE CONTROLE DE LA CONTAMINATION DES PLAQUETTES DE SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2883412(B1) |
申请公布日期 |
2007.05.04 |
| 申请号 |
FR20050050703 |
申请日期 |
2005.03.18 |
| 申请人 |
ALCATEL SOCIETE ANONYME |
发明人 |
FAVRE ARNAUD;THOLLOT REMI;METAIS XAVIER;DESBIOLLES JEAN PIERRE |
| 分类号 |
H01L21/00;G01N1/22;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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