发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING POLYMERIZED TEOS BUILD-UP IN VACUUM PUMP LINES
摘要
申请公布号 KR100714801(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20017010533 申请日期 2001.08.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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