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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SUBLITHOGRAPHIC STRUCTURES
摘要
申请公布号 KR100715051(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20060017617 申请日期 2006.02.23
申请人 发明人
分类号 G03F7/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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