发明名称 ELECTRO CHEMICAL PLATING APPARATUS, AND COPPER-PLATING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100717500(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20060076088 申请日期 2006.08.11
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YIM, JI YOUNG
分类号 H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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