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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR MODULATION OF POWER AND POWER RELATED FUNCTIONS OF PECVD DISCHARGE SOURCES TO ACHIEVE NEW FILM PROPERTIES
摘要
申请公布号 KR20070047216(A) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20060106195 申请日期 2006.10.31
申请人 APPLIED FILMS CORPORATION 发明人 STOWELL MICHAEL W.
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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