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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR POWER FUNCTION RAMPING OF MICROWAVE LINEAR DISCHARGE SOURCES
摘要
申请公布号 KR20070047203(A) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20060062234 申请日期 2006.07.04
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG;APPLIED FILMS CORPORATION 发明人 STOWELL MICHAEL W.;LIEHR MICHAEL;WIEDER STEPHAN;DIEGUEZ CAMPO JOSE MANUEL
分类号 C23C14/35;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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