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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS WITH MULTIPLE ALIGNMENT ARRANGEMENTS AND ALIGNMENT MEASUREMENT METHOD
摘要
申请公布号 KR20060074873(A) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20050129748 申请日期 2005.12.26
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VAN BILSEN FRANCISCUS BERNARDUS MARIA
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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