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发明名称 CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE WITH ADAPTIVE MIRROR AND PROJECTION EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 KR100596062(B1) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR19990019500 申请日期 1999.05.28
申请人 发明人
分类号 G02B27/00;H01L21/027;G02B17/08;G03F7/20 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
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