发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR20060074831(A) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20050123115 申请日期 2005.12.14
申请人 DAI NIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 YAMAMOTO SATOSHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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