发明名称 Cart for mounting/demounting wafer transfer robot
摘要
申请公布号 KR100594999(B1) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20010030864 申请日期 2001.06.01
申请人 发明人
分类号 B62B3/02 主分类号 B62B3/02
代理机构 代理人
主权项
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