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发明名称 APPARATUS FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF A SHOWERHEAD AND APPARATUS FOR FORMING A LAYER HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060074194(A) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20040112845 申请日期 2004.12.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, JUNG HUN;PARK, YOUNG WOOK;HONG, JIN GI;KOO, KYUNG BUM;LEE, EUN TAECK;CHOI, YUN HO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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