| 主权项 |
1.一种簇团化流体的流量控制方法,其特征为:针对 藉由流量控制器来将来自于气体供给源的簇团化 流体供给至期望的机器、装置之簇团化流体的供 给方法, 加热前述流量控制器使流通于该流量控制器的氟 化氢分子的缔结解离,藉由流量控制器,来将作成 单分子状态的簇团化流体一边进行流量控制一边 加以供给。 2.一种簇团化流体的流量控制方法,其特征为:针对 藉由流量控制器来将来自于气体供给源的簇团化 流体供给至期望的机器、装置之簇团化流体的供 给方法, 将前述簇团化流体稀释成分压以下,使流通于前述 流量控制器的簇团化流体的分子之缔结解离,藉由 流量控制器来将已作成单分子状态之簇团化流体 一边进行流量控制一边加以供给。 3.如申请专利范围第1或2项之簇团化流体的流量控 制方法,其中流量控制器为流量控制阀、热式流量 控制器与压力式流量控制器中之其中一种。 4.如申请专利范围第1项之簇团化流体的流量控制 方法,其中将流量控制器本体的加热温度作成40℃ 以上。 5.一种使用压力式流量控制装置之簇团化流体的 流量控制方法,是在将孔隙上游侧的压力P1与孔隙 下游侧的压力P2之比P2/P1保持于气体的临界压力以 下的状态,将通过孔隙的气体流量Q作为Q=KP1(其中K 为定数)来进行运算之使用流量控制装置的簇团化 流体的流量控制方法,其特征为: 一边将前述压力式流量控制装置加热至40℃以上, 一边使簇团化流体通过前述孔隙加以流通。 6.如申请专利范围第5项之使用压力式流量控制装 置之簇团化流体的流量控制方法,其中将连接于压 力式流量控制装置的下游侧的簇团化流体之接收 处作成真空装置。 7.如申请专利范围第5项之使用压力式流量控制装 置之簇团化流体的流量控制方法,其中将压力式流 量控制装置作成以氮气为基准而进行了刻度校正 之压力式流量控制装置,并且因应流量控制装置本 体的温度,适宜选定对于氮气之簇团化流体的流量 因素F.F.,在使簇团化流体通过时的流量测定値乘 上前述流量因素F.F.来获得簇团化流体的流量。 8.如申请专利范围第6项之使用压力式流量控制装 置之簇团化流体的流量控制方法,其中将压力式流 量控制装置加热至40℃~85℃,并且将连接于压力流 量控制装置的下游侧之接受簇团化流体的真空装 置作成真空室,且将其压力作为10-3Torr ~102Torr。 9.如申请专利范围第5项之使用压力式流量控制装 置之簇团化流体的流量控制方法,其中将由压力式 流量控制装置供给至真空室之簇团化流体的流量 控制范围作为3~300SCCM。 10.如申请专利范围第1或2项之簇团化流体的流量 控制方法,其中将簇团化流体作为氟化氢、水或臭 氧之其中一种。 11.如申请专利范围第5~9项中任一项之使用压力式 流量控制装置之簇团化流体的流量控制方法,其中 将簇团化流体作为氟比氢、水或臭氧之其中一种 。 12.如申请专利范围第7项之使用压力式流量控制装 置之簇团化流体的流量控制方法,其中压力式流量 控制装置本体的温度为45℃,而流体为氟化氢气体 时的流量因素F.F.作为1.1665。 13.一种簇团化流体用的流量控制装置,是针对藉由 流量控制器来将来自于气体供给源的簇团化流体 供给至期望的机器、装置之簇团化流体的流量控 制装置,其特征为: 加热前述流量控制器的本体使流通于该流量控制 器的簇团化流体的分子的缔结解离,藉由流量控制 器来将已作成单分子状态的簇团化流体进行流量 控制。 14.一种簇团化流体用的流量控制装置,是针对藉由 流量控制器来将来自于气体供给源的簇团化流体 供给至期望的机器、装置之簇团化流体的流量控 制装置,其特征为: 将前述簇团化流体稀释成分压以下,使流通于前述 流量控制器的簇团化流体的分子之缔结解离,藉由 流量控制器来将已作成单分子状态之簇团化流体 进行流量控制。 15.如申请专利范围第13或14项之簇团化流体用的流 量控制装置,其中将流量控制装置作为流量控制阀 、热式流量控制装置与压力式流量控制装置之其 中一种。 16.如申请专利范围第13项之簇团化流体用的流量 控制装置,其中将流量控制器本体的加热温度作成 40℃以上。 17.一种簇团化流体用的流量控制装置,是针对在将 孔隙上游侧的压力P1与孔隙下游侧的压力P2之比P2/ P1保持于气体的临界压力以下的状态,将通过孔隙 的气体流量Q作为Q=KP1(其中K为定数)来进行运算之 流量控制装置,其特征为: 将被控制流体作为簇团化流体,并且在压力式流量 控制装置设置加热装置,藉由该加热装置来将压力 式流量控制装置本体加热至40℃以上。 18.如申请专利范围第17项之簇团化流体用的流量 控制装置,其中将压力式流量控制装置作成:因应 压力式流量控制装置本体的温度适宜选定以氮气 为基准的簇团化流体之流量因素F.F.,使用该已选 定的流量因素F.F.値来进行刻度校正之压力式流量 控制装置。 19.如申请专利范围第13、14或17项中任一项之簇团 化流体用的流量控制装置,其中将簇团化流体作为 氟化氢、水或臭氧之其中一种。 20.如申请专利范围第18项之簇团化流体用的流量 控制装置,其中压力式流量控制装置本体的温度为 45℃,而流体为氟化氢气体时的流量因素F.F.作为1. 1665。 图式简单说明: 第1图是调查对于HF气体等的簇团化流体之压力式 流量控制装置的各种特性的试验装置之全体构成 图。 第2图是显示压力式流量装置的流量特性者,(a)是 显示被测品为F115A时的流量特性、(b)是显示被测 品为F65A时的流量特性、(c)是显示被测品为F20A时 的流量特性。 第3图是显示被测品为F115A及F115A-HT型的情况,受到 加热温度的变化(45℃2℃及85℃2℃)所引起的流量 误差的图。 第4图是显示被测品为F115A、F65A及F20A的情况之加 热条件作为参数的测定流量之线图。 第5图是藉由稀释来将HF气体等的簇团化流体作成 分压以下之簇团化流体的流量控制方法的说明图 。 |
