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发明名称
APPARATUS FOR CLEANING A SLIT NOZZLE AND APPARATUS FOR TREATING A SLIT NOZZLE
摘要
申请公布号
KR100578558(B1)
申请公布日期
2006.05.12
申请号
KR20040000934
申请日期
2004.01.07
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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