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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MICROSTRUCTURE AND MANUFACTURING SYSTEM FOR THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060042184(A) 申请公布日期 2006.05.12
申请号 KR20050015609 申请日期 2005.02.25
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.;FUJI XEROX CO., LTD./JP 发明人 TSUNO TAKESHI;GOTO TAKAYUKI;TAWARA SATOSHI;KINOUCHI MASATO;ASANO SHIN;HASEGAWA OSAMU;YAMADA TAKAYUKI;TAKAHASHI MUTSUYA
分类号 B81C3/00;H01L21/02;B05D1/00;B05D3/12;B29C67/00;B81C1/00;B81C99/00;C07C2/02 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
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