| 发明名称 |
OXIDIZATION METHOD AND OXIDIZATION APPARATUS FOR OBJECT TO BE PROCESSED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060041970(A) |
申请公布日期 |
2006.05.12 |
| 申请号 |
KR20050012519 |
申请日期 |
2005.02.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SUZUKI KEISUKE;IKEUCHI TOSHIYUKI;UMEZAWA KOTA |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/00;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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