发明名称 LASER CRYSTALLIZATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060041687(A) 申请公布日期 2006.05.12
申请号 KR20050010324 申请日期 2005.02.04
申请人 HITACHI COMPUTER PERIPHERALS CO., LTD. 发明人 TERAO MOTOYASU;OGINO YOSHIAKI;HORIGUCHI YASUMI;FUJIYOSHI KOUTAROU
分类号 H01L21/26;H01S3/10 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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