| 发明名称 |
A SHOWER PLATE AND A PLASMA TREATMENT APPARATUS HAVING THE SHOWER PLATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060042113(A) |
申请公布日期 |
2006.05.12 |
| 申请号 |
KR20050013845 |
申请日期 |
2005.02.19 |
| 申请人 |
ASM JAPAN K.K. |
发明人 |
TSUJI NAOTO;FUKUDA HIDEAKI;ARAI HIROKI;MORISADA YOSHINORI;KOBAYASHI TAMIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/205;H05H1/46;C23C16/00;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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