发明名称 APPARATUS FOR AUTOMATICALLY INSPECTING EXTERIOR OF CHIP
摘要
申请公布号 KR20060041454(A) 申请公布日期 2006.05.12
申请号 KR20040090668 申请日期 2004.11.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, JU IL;JUNG, RAPHAEL;SUN, YOUNG KYUN;KIM, HYUN HO
分类号 H01L21/66;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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