| 主权项 |
1.一种固体摄像装置的制造方法,系具有配置复数 个像素而形成的受光区域及与该受光区域相邻的 非受光区域,其特征为具有: 在上述受光区域与上述非受光区域上形成绝缘膜 的步骤; 在上述受光区域上的绝缘膜上形成透镜形成用的 遮罩图案,在上述非受光区域上的绝缘膜上形成透 镜形成用虚设遮罩图案的步骤; 将上述遮罩图案与虚设遮罩图案作为遮罩,对上述 绝缘膜进行蚀刻,以在上述绝缘膜形成复数个凸起 部的步骤; 在上述绝缘膜上形成第一透镜膜的步骤; 在上述第一透镜膜上形成比其蚀刻率低的平坦化 膜的步骤;以及 对上述第一透镜膜及上述平坦化膜进行背蚀刻的 步骤。 2.如申请专利范围第1项的固体摄像装置的制造方 法,其中具有:在上述经背蚀刻的第一透镜膜上形 成第二透镜膜的步骤。 3.如申请专利范围第1项的固体摄像装置的制造方 法,其中,将上述遮罩图案及虚设遮罩图案作为遮 罩,对上述绝缘膜进行蚀刻,以在上述绝缘膜形成 复数个凸起部的步骤系包括: 对上述绝缘膜进行异向性蚀刻的步骤;以及 对上述绝缘膜进行等向性蚀刻的步骤。 4.如申请专利范围第1项之固体摄像装置的制造方 法,其中,上述平坦化膜系有机膜或无机膜。 5.如申请专利范围第1项之固体摄像装置的制造方 法,其中,上述第一透镜膜之折射率系比上述绝缘 膜的折射率高。 6.如申请专利范围第2项之固体摄像装置的制造方 法,其中,上述第二透镜膜之折射率系比上述第二 透镜膜的上层物质的折射率高。 7.如申请专利范围第1至4项中任一项的固体摄像装 置的制造方法,其中,上述第一透镜膜系氮化矽膜 。 8.如申请专利范围第2至4项中任一项的固体摄像装 置的制造方法,其中,上述第二透镜膜系氮化矽膜 。 图式简单说明: 第1图系实施本发明的最佳形态的固体摄像装置的 概略俯视图。 第2图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第3图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第4图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第5图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第6图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第7图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的俯视图。 第8图系表示习知例的固体摄像装置制造方法的一 个步骤的剖视图。 第9图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像装 置的制造方法的剖视图。 第10图系表示习知例的固体摄像装置的制造方法 的一个步骤的剖视图。 第11图系表示实施本发明的最佳形态的固体摄像 装置的制造方法的剖视图。 第12图系表示习知例的固体摄像装置的制造方法 的概略构成图。 第13图系表示习知例的固体摄像装置的制造方法 的一个步骤的剖视图。 第14图系沿第13图的X-X线的剖视图。 |
