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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Strahlung emittierenden und/oder empfangenden Halbleiterchips mit einer Strahlungsein- und/oder -auskoppel-Mikrostruktur
摘要
申请公布号 DE10229231(B9) 申请公布日期 2006.05.11
申请号 DE20021029231 申请日期 2002.06.28
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH 发明人 ZULL, HERIBERT;STEIN, WILHELM
分类号 B81C1/00;H01L21/308;H01L31/0232;H01L31/0236;H01L33/22 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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