发明名称 Mikro-elektromechanische Spiegelstruktur
摘要
申请公布号 DE60118129(D1) 申请公布日期 2006.05.11
申请号 DE20016018129 申请日期 2001.09.07
申请人 XEROX CORP. 发明人 PETERS, ERIC;ROSA, MICHEL A.
分类号 G02B26/02;G02B26/08;G02B5/08;G02B6/35;G02B7/182 主分类号 G02B26/02
代理机构 代理人
主权项
地址