Technik zum Erzeugen einer unterschiedlichen mechanischen Verformung in unterschiedlichen Kanalgebieten durch Bilden eines Ätzstoppschichtstapels mit unterschiedlich modifizierter innerer Spannung

摘要

Es wird eine Technik bereitgestellt, die das Herstellen von Kontaktlochätzstoppschichten mit unterschiedlichen intrinsischen Spannungen für unterschiedliche Transistoren ermöglicht, während Bauteilbeeinträchtigungen auf Grund des teilweisen Abtrags der Kontaktlochätzstoppschicht im Wesentlichen vermieden werden. Dazu wird eine zusätzliche dünne Ätzstoppschicht vor der Ausbildung der Kontaktlochätzstoppschichten vorgesehen, wodurch im Wesentlichen die Integrität von Metallsilizidgebieten bewahrt bleibt, wenn ein Teil einer zunächst abgeschiedenen Kontaktlochätzstoppschicht entfernt wird.