| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON FILMEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60210045(D1) |
申请公布日期 |
2006.05.11 |
| 申请号 |
DE20026010045 |
申请日期 |
2002.02.05 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES |
发明人 |
HAHAKURA;OHMATSU |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/50;C23C14/56;H01B13/00;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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