System und Verfahren zum Zuführen von Vorstufengasen zu einer Implantationsanlage

摘要

Es wird ein verbessertes Zufuhrsystem für eine Ionenquelle einer Ionenimplantationsanlage und ein Verfahren zum Betreiben derselben bereitgestellt. Durch Verwenden eines Puffervolumens zwischen einer SDS-Gasflasche und der Ionenquelle wird die Stabilität der Gasströmung zu der Ionenquelle deutliche verbessert, wobei gleichzeitig nahezu der gesamte Gasinhalt der Gasflasche während des Betriebs der Ionenimplantationsanlage verfügbar ist.