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发明名称
Sprudelvorrichtung mit zwei Fritten
摘要
申请公布号
DE60020781(T2)
申请公布日期
2006.05.11
申请号
DE20006020781T
申请日期
2000.08.18
申请人
ROHM AND HAAS CHEMICALS LLC, PHILADELPHIA
发明人
RANGARAJAN, SRI PRAKASH;O'GRADY, JOHN
分类号
C23C16/448;H01L21/203;H01L21/205
主分类号
C23C16/448
代理机构
代理人
主权项
地址
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