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经营范围
发明名称
Vorrichtung zum Reinigen und Trocknen, Scheibenprozesssystem und Scheibenprozessverfahren
摘要
申请公布号
DE69833832(D1)
申请公布日期
2006.05.11
申请号
DE1998633832
申请日期
1998.03.27
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
KAMIKAWA, YUJI;KURODA, OSAMU;SOEJIMA, KENJI;NOMURA, TSUYOSHI
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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