发明名称
摘要
申请公布号 JP2006514783(A) 申请公布日期 2006.05.11
申请号 JP20050501104 申请日期 2003.10.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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