摘要 |
Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Topcoatschicht auf zumindest einem Substrat mittels Verdampfen eines Topcoatmaterials in einer Vakuumkammer, welche einen Verdampfungscontainer zum Verdampfen des Topcoatmaterials aufweist, ist vorgesehen, dass während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegt wird, welche relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0 DEG bis 90 DEG aufweist. Ferner ist vorgesehen, dass die Topcoatschicht auf eine in ein Rahmengestell eingebaute Linse aufgebracht wird. Bei der Vorrichtung ist eine Substrathalterung vorgesehen, mittels der während des Verdampfens zumindest ein Substrat um eine Achse bewegbar ist, die relativ zu einer Hauptverdampfungsrichtung einen Winkel in einem Bereich größer 0 DEG bis 90 DEG aufweist und/oder eine Halterung für zumindest ein Rahmengestell, in welches zumindest eine Linse einbaubar ist.
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