METHOD FOR MANUFACTURING OF TiSiN LAYER USED CVD METHOD,申请号KR19990061356-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING OF TiSiN LAYER USED CVD METHOD
摘要
申请公布号	KR100574483(B1)	申请公布日期	2006.04.27
申请号	KR19990061356	申请日期	1999.12.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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