发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN MIT EINEM GRABEN-GATE
摘要
申请公布号 DE69924338(T8) 申请公布日期 2006.04.27
申请号 DE19996024338T 申请日期 1999.03.29
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 LUO, JIKUI
分类号 H01L21/00;H01L29/78;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/082;H01L27/088 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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