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发明名称 СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТОВ С ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И ВСПОМОГАТЕЛЬНАЯ ПЛАСТИНА ДЛЯРЕАЛИЗАЦИИ СПОСОБА
摘要
申请公布号 RU2004133492(A) 申请公布日期 2006.04.27
申请号 RU20040133492 申请日期 2004.11.17
申请人 Басиев Александр Гаврилович (RU);Басиев Александр Александрович (RU);Недзвецкий Виктор Станиславович (RU) 发明人
分类号 H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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