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发明名称 Mikroskopische Kapazitätmesssystem und Testsystem
摘要
申请公布号 DE69929941(D1) 申请公布日期 2006.04.27
申请号 DE19996029941 申请日期 1999.08.11
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 HIROTA, YOSHIHIRO;MATSUMOTO, TOSHIYUKI
分类号 G01R27/26 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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