RAPID MEASUREMENT OF LARGE PATH DIFFERENCES IN BIREFRINGENT MATERIALS WITHOUT AND WITH FALSE COLOURS

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung können zur automatischen, berührungslosen und schnellen Messung hoher Gangunterschiede doppelbrechender Proben ohne Mehrdeutigkeit der Ergebnisse herangezogen werden, wobei selbst beim Vorliegen von Falschfarben die Sicherheit (Genauigkeit und Eindeutigkeit) und die Schnelligkeit (kurzperiodisch) des Verfahrens in Abhängigkeit von den Eigenschaften der Probe geregelt werden können. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass neben der eigentlichen konstanten Messwellenlänge ?<SUB>1</SUB> eine variable Hilfswellenlänge ?<SUB>2</SUB> eingeführt wird. Die letztgenannte Hilfswellenlänge ?<SUB>2</SUB> wird solange der Messwellenlänge ?<SUB>1</SUB> angeglichen, bis für beide Wellenlängen gleichzeitig und wiederholt die gleiche Ordnung vorliegt (gleiches N+l). Dadurch kann in einem Fall für bestimmte Proben der Abstand der beiden Wellenlängen größer als 10 nm eingestellt und die Sicherheit (Genauigkeit und Eindeutigkeit) und Schnelligkeit des Verfahrens können erhöht werden. Im anderen Fall kann bei sehr lichtstarken Proben mit ausgesprochen diffizilen Falschfarben der Abstand der beiden Wellenlängen sogar kleiner als 10 nm gemacht werden, sodass die Gangunterschiede eindeutig erfasst werden können.