Verfahren zur Herstellung einer verspannten Schicht auf einem Substrat und Schichtstruktur

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer verspannten Schicht mit den Schritten: DOLLAR A - die Schicht wird auf einem Substrat angeordnet und verspannt, DOLLAR A - die verspannte Schicht wird strukturiert, DOLLAR A - die Schicht wird relaxiert, DOLLAR A - es werden gerichtete Versetzungen in der zu verspannenden Schicht gebildet. DOLLAR A Eine auf diese Weise erzeugte Schichtstruktur weist triaxial verspannte Schichten auf.