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发明名称 CLEANING SOLUTION COMPOSITION AND CLEANING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100574349(B1) 申请公布日期 2006.04.27
申请号 KR20040006986 申请日期 2004.02.03
申请人 发明人
分类号 C11D3/43;G03F7/32;C11D1/00;C11D1/28;C11D1/72;C11D3/04;C11D3/20;C11D11/00;C11D17/08;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 C11D3/43
代理机构 代理人
主权项
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