化学微缩制程应用于微奈米线路制造之方法

摘要

本发明系关于一种化学微缩制程应用于微奈米线路制造之方法，其系配合化学微缩制程予以克服曝光波长之尺寸限制，俾以制造出小于曝光波长之尺寸，其制作上先经沈积、显影、电浆蚀刻后，再利用化学微缩剂使经过电浆蚀刻后之金属线路微缩至小于曝光波长之尺寸，俾以产生微奈米线路者。