图案化膜层与阻隔壁的形成方法

摘要

一种图案化膜层的形成方法，首先于材料层上形成图案化光阻层，其中此图案化光阻层系暴露出部分之材料层。接着，移除暴露出之部分材料层，以于基板上形成图案化膜层。之后，使用胶带(或黏胶滚筒)黏附图案化光阻层，以使图案化光阻层黏附于胶带(或黏胶滚筒)上而与图案化膜层分离。其中，胶带(或黏胶滚筒)与图案化光阻层之间的黏着力系大于图案化光阻层与图案化膜层之间的黏着力。由于胶带(或黏胶滚筒)仅与图案化光阻层接触，因此在移除图案化光阻层的过程中可避免对其他膜层造成损伤，因而改善制程上的良率。