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发明名称
低失真参数量测之方法及装置
摘要
根据本发明之实施例包括用于处理工件所得的量测参数数据之方法及装置。该等方法及装置系使用一具有低失真的参数数据之感应装置。
申请公布号
TW200617363
申请公布日期
2006.06.01
申请号
TW094123178
申请日期
2005.07.08
申请人
上晶圆科技公司
发明人
杭特 狄恩;宝拉 坎迈斯华;史派诺斯 卡斯塔斯;魏尔契 麦可;佛烈得 麦森
分类号
G01K1/00
主分类号
G01K1/00
代理机构
代理人
花瑞铭
主权项
地址
美国
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