灰阶投影式光学装置

摘要

本发明系为一灰阶投影式光学装置，藉由影像绘图装置直接对光学投影装置输出所需之灰阶影像图案，再利用光学元件装置直接在基板上曝光，利用不同色阶达到灰阶光罩之特性，而不须再利用电子束制造光罩，即可得到平面或立体之微结构图形，可广泛应用于制作平面与立体之微结构领域中。