化学增强型正型光阻组成物

摘要

本发明提供一种化学增强型正型光阻组成物，此光阻组成物系，在一个基板上形成积体电路与液晶显示部份之基板制造用化学增强型正型光阻组成物；其特征为，将全酚性羟基之至少一部份被酸离解性溶解抑制基保护之酚醛清漆树脂(A－1)、全酚性羟基之至少一部份被酸离解性溶解抑制基保护之聚羟基苯乙烯树脂(A－2)、及藉由照射放射线产生酸之酸产生剂(B)，溶解于有机溶剂所成。