离子布植机的加速-减速管的聚焦效应的弱化装置及其方法

摘要

一种在减速模式过程中离子布植机的加速–减速管的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜，围绕离子束，并与加速–减速管的减速透镜相邻。该管透镜使离子束在管透镜的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速–减速管以及与管透镜成为一体的离子布植机。在管透镜中后续还可添加另外的减速抑制电极，将电子限制在管透镜内。