电磁操作装置

摘要

〔课题〕抑制与3相的真空阀相对之各主轴的动作差异，达成3相间的同步。〔解决手段〕一种具备与3相之各相的真空阀1设置成一对之电磁操作器4之电磁操作器，系具备有：可各一相动作之主轴2、及与各主轴的动作联系而取得3相间的动作同步之3相连结轴3。电磁操作器4的操作杆44系以支点46而与主轴2的轴翼45联系，3相连结轴3的轴翼47系和主轴2的轴翼45被以连结部47所连结。最初动作之主轴2的动作系介由连结轴3而传达至其它的主轴，可取得3相间的同步。